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EP6测量平台是一款结构简单、高精确度、多功能、及高性价比的150mm基准的探针台,解决了一系列的测量难题。该探针台采用了模块化设计,提供了众多的配置,旨在满足诸如单切晶片至 150mm 晶圆、模块、印刷电路板组件和微流体芯片等多种器件的精密电测量的需要。EP6可提供三种预配置的探针台,均针对用户的应用及预算而优化。
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