国产PLD脉冲激光分子束外延装置。 脉冲激光分子束外延成膜法PLD/Laser MBE是将脉冲激光通过合成石英窗导入真空腔内照射到成膜靶上，靶被照射后吸收高密度能量而形成羽辉，升华出来的靶材堆积到设在对面的基板上而形成膜